產品簡介

PBO固化高溫無氧烘箱-PI烘箱 RT+450℃ 產品適用于：適用于BCB、PI、PBO膠固化，半導體晶圓，光刻膠固化，光刻膠預烘/堅膜、CPI固化潔凈無氧等要求，在生物、醫藥、LCD、LED、光學鍍膜、電子元器件等行業內的無氧化干燥烘烤工藝要求，產品也可接受非標定制。

PBO固化高溫無氧烘箱-PI烘箱 RT+450℃ 主要技術參數：

PBO固化高溫無氧烘箱-PI烘箱 RT+450℃ 結構特點：

總體由箱體部分，電氣控制柜部分，電加熱部分，風道部分，塵埃物過濾部分，N2 進氣排氣部分等組裝而成，結構合理，功能實用。

外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵，

內膽材料：內箱采用進口SUS304#1.2mm不銹鋼板全周氬焊,并經堿性蘇打水清潔有效的防止了機臺本身灰塵的產生。

保溫材料：采用正廠中央玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充，有效的防止了熱能浪費。

電熱部分：采用進口覆套式電熱器（SHEATHED HEATER）無塵無氧化電熱發生器

風道部分：整體結構采用了水平送風的方式由左向右送風后經美國進口H.E.P.A，(特殊風道設計)過濾效果可達99.99%,Class100；

排氣及進氣：排氣口采用自動風門設計以達到強烈的循環效果及快速降溫，進氣口加附N2流量計控制進氣量，入氣口10mm氧含量可達到100PPM以下

四，可靠*的測控系統

溫度控制裝置：日本進口富士PXF系列溫控器，內置PID自動整定，斜率設定功能

溫度控制方式為SSR固態繼電器功率調整輸出，溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶

五，完善的控制系統，及安全防護措施

操作控制系統，日本進口富士PXF系列溫控器，程式化操作更可靠，更高效。

含氧量分析系統，采用國產氧含量分析儀，可實時監控箱體內的氧含量。啟動時間大約15分鐘。

防護措施：超溫保護,斷線報警，相序保護，過載保護，短路保護，漏電保護，及電磁門禁保護等。

六,設備使用條件：

環境條件:溫度5~40℃之間：濕度≤85%R.H：

電   源：3P AC380V，50HZ

使用環境：無強烈振動，無強烈磁場影響，無腐蝕性氣體：

氣   壓：200~500Kpa：

安裝使用環境：箱體周圍應留有500mm的空間供產品安裝，維修使用。

七,配備的技術資料：

提供產品合格證、保修卡、使用說明書、儀表說明書等相關資料壹套，客戶可根據需要選擇書面文件或索取電子文檔