產品簡介

高溫PI烤箱 PBO膠固化烘箱適用于BCB、PI、PBO膠固化，半導體晶圓，光刻膠固化，光刻膠預烘/堅膜、CPI固化潔凈無氧等要求，在生物、醫藥、LCD、LED、光學鍍膜、電子元器件等行業內的無氧化干燥烘烤工藝要求，產品也可接受非標定制。

高溫PI烤箱   PBO膠固化烘箱 產品適用于適用于BCB、PI、PBO膠固化，半導體晶圓，光刻膠固化，光刻膠預烘/堅膜、CPI固化潔凈無氧等要求，在生物、醫藥、LCD、LED、光學鍍膜、電子元器件等行業內的無氧化干燥烘烤工藝要求，產品也可接受非標定制。

高溫PI烤箱   PBO膠固化烘箱

型號：GM-60D

工作室尺寸：W600*H600*D600

外形尺寸：W1190* H1730*D1100  

功率 9KW

含氧量<=20PPM

溫度范圍: +60~+450℃ ;

溫度均勻度:± 2.5℃ at2oo℃ ; ± 5℃ at35o°C;(空載)

升溫速度:常溫~400℃ ,升溫速率>6°C/min  PLC一體可設定

溫控精度:± 1℃ ;

烘箱擱板為活動形式。

在60- 120°C 之間連續烘烤80-1000 小時;

運行噪音:≤ 65db;

以上指標均在常壓、空載條件情況下,距箱體內壁1/6 空間內測試;

高溫PI烤箱   PBO膠固化烘箱產品特點：

結構方式

整體結構采用單門立式結構，控制柜位于箱體上方，外殼采用304鏡面或者304不銹鋼拉絲，工作室采用SUS304潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理，內部光亮整潔，自身潔凈不產塵。

1.外壁材料：1.5mm厚度SUS304鏡面潔凈不銹鋼板。

2.內壁材料：2.0mm厚度SUS304鏡面潔凈不銹鋼板。

3.絕熱材料：100mm厚度120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。

結構強度：箱底板承重能力：≤80Kg（均勻負載）

1．單開門結構，門框鑲嵌耐高溫硅橡膠密封條，拉桿式安全防爆拉手。

2. 門框安裝水冷循環，降低門封圈溫度。

3．配置電磁鎖，防止意外開啟箱門。

加熱控制器：不銹鋼加熱管（鎳鉻合金電熱絲，改性氧化鎂填充，無縫不銹鋼管覆套）。加熱器控制方式：無觸點等周期脈沖調寬，SSR（固態繼電器）

溫度控制器：采用PLC+威綸通10英寸觸摸屏控制系統，多段可程式PLC一體控制，恒溫，升溫等多段設定控制。

氧含量控制器：氧分析儀精準控制，外接99.999%純度氮氣，氧含量達到＜ 20PPM 以下。

水冷系統：采用水冷控制系統降溫門縫圈，常水溫在20-25℃。

降溫系統：采用降溫冷卻風機，使用箱體降溫循環冷卻。

氣體系統：氮氣流量計,入氣口8mm接口，出氣口100mm,自動啟閉風閥。

排風系統：不銹鋼排風管，帶自動風閥，有機排氣口，冷卻排風口。

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