產(chǎn)品簡介

無氧烤箱 晶圓封裝充氮潔凈烘箱產(chǎn)品用途范圍：用于FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料，無塵烘干BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、，電工產(chǎn)品、材料、零備等高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗(yàn)等應(yīng)用。

型    號

SKCOL-9070A*4

工作室尺寸

W400 * D350 * H500 MM

總消耗功率

2.0 KW

潔 凈 度

Class 100

（立方英尺0.5UM顆粒數(shù)小于100，立方米0.5UM顆粒數(shù)小于3520）

容 積（L）

70 L

溫   度

RT+20 ～ +250℃

配 置

P.I.D控溫 三色燈，急停按鈕

工作室容積

（400mm×350mm×500mm ）(W寬×D深×H高）

工作溫度范圍

RT+20 ～ +250℃

升溫速率

5℃/min （空載，非線性）

溫度偏差

≤±1℃(空載，恒定狀態(tài)時(shí))

溫度精度/分辨率

±0.1℃

溫度波動(dòng)度

±1℃(空載，恒定狀態(tài)時(shí))

溫度均勻性

±1.5%(空載，恒定狀態(tài)時(shí)) 200℃時(shí)誤差為±3℃

時(shí)間定時(shí)范圍

0 – 9999 小時(shí)，分鐘，秒

潔凈等級

Class100

立方米≥0.5UM塵粒≤35000 /立方英尺≥0.5UM塵粒≤1000

總功率

2.5 KW

電源

220V 50Hz （三相五線）

電源線

2.5米

結(jié)構(gòu)方式

整體結(jié)構(gòu)采用單門立式結(jié)構(gòu)，控制柜位于箱體上方，外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后噴塑，工作室采用SUS304潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理，內(nèi)部光亮整潔，自身潔凈不產(chǎn)塵。

材料構(gòu)成

1.外壁材料：1.5mm厚度3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑，顏色為工業(yè)白。

2.內(nèi)壁材料：2.0mm厚SUS304鏡面潔凈不銹鋼板。

3.絕熱材料：100mm厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。

結(jié)構(gòu)強(qiáng)度

箱底板承重能力：≤130Kg（均勻負(fù)載）

柜門

1．單開門結(jié)構(gòu)，門框鑲嵌耐高溫硅橡膠密封條。

2．拉手采用拉桿式安全防爆拉手。

配置

1．風(fēng)道位于箱體頂部與背部，高效過濾器H.E.P.A位于箱體風(fēng)道內(nèi)部。

2．熱風(fēng)經(jīng)過H.E.P.A進(jìn)入干燥箱內(nèi)部，再循環(huán)至頂部進(jìn)入風(fēng)道，往復(fù)循環(huán)。

3．三相異步長軸耐高溫長軸馬達(dá)，帶相序保護(hù)，超溫過流保護(hù)。

4．不銹鋼渦輪扇葉，出廠經(jīng)動(dòng)平衡調(diào)校，確保送風(fēng)平穩(wěn)。

5．排風(fēng)口：不銹鋼排風(fēng)管，帶自動(dòng)風(fēng)閥，排風(fēng)管位于箱體背部。

工作方式

設(shè)備啟動(dòng)，鼓風(fēng)裝置持續(xù)運(yùn)行，箱內(nèi)熱風(fēng)循環(huán)。

配置

1．耐高溫高效過濾器，過濾等級H13 (99.97% - 99.99% @0.3um）

2．采用進(jìn)口耐高溫超細(xì)纖維芯材，連續(xù)耐溫350℃，鋁箔隔層，陶瓷膠密封

3．邊框配置玻璃纖維耐高溫密封條

工作方式

設(shè)備啟動(dòng)，熱風(fēng)循環(huán)啟動(dòng)，熱風(fēng)通過高效過濾器H.E.P.A實(shí)現(xiàn)箱內(nèi)自凈化。

工作室

獨(dú)立式工作室超溫保護(hù)器

加熱系統(tǒng)

欠壓、超壓保護(hù).過流保護(hù).加熱器斷線保護(hù).超溫保護(hù)

熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)

相序保護(hù).缺相，欠壓保護(hù).過熱，過載，過流保護(hù)

電源系統(tǒng)

電源缺相及相序錯(cuò)誤保護(hù).漏電保護(hù).加熱器超溫保護(hù).加熱器短路過流保護(hù)

其他

設(shè)備外殼接地保護(hù)，電磁門禁系統(tǒng)